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什么是擴散爐呢？
發(fā)布時間：2020-03-30 點擊次數(shù)：次
什幺是擴散爐呢？
1、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。
2、工藝曲線的自動運行控制功能。
3、自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。
4、工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能。
5、智能升降溫斜率控制功能。
6、系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
7、系統(tǒng)誤差修正（單點或多點動態(tài)修正功能）。
擴散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。較新的低壓磷擴散利用低壓氛圍可以得到更好的方塊電阻均勻性和更大的生產(chǎn)批量，擴散爐生產(chǎn)廠家，同時對環(huán)境的影響比較小。氧化工藝是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應(yīng)，生長一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧和濕氧，濕氧包括水汽氧化和氫氧合成兩種。
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